KA-02

KA-02

気中パーティクルセンサ

小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに
  • 筺体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780nm、定格出力35mW)
粒径区分 0.3μm以上、0.5μm以上の2段階
定格流量 2.83L/min
最大粒子個数濃度 140,000,000個/m3(計数損失10%以内)
電源 DC9V~28V(外部ユニットから供給、オプション)
大きさ 約52(H)×107(W)×53(D)mm(突起部を除く)
重さ 約360g


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