KS-41B
液中パーティクルセンサ、レジスト用
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1μmから測定可能
- 多点監視システムに接続可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532nm、定格出力500mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA |
| 粒径区分 | 0.1μm～0.5μmの範囲で10段階（オプションで0.07μmから対応、純水などの透明な液体の場合） 出荷時：0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階 |
| 定格流量 | 5mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 9,600個/mL（計数損失10%以内） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 約164（H）×464（W）×305（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約12.5kg |