KA-02
気中パーティクルセンサ
小型・軽量のため、プロセス装置内の発塵モニタに
- 筺体にステンレスを採用し、耐薬品性を向上
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長780nm、定格出力35mW） |
| 粒径区分 | 0.3μm以上、0.5μm以上の2段階 |
| 定格流量 | 2.83L/min |
| 最大粒子個数濃度 | 140,000,000個/m3（計数損失10%以内） |
| 電源 | DC9V～28V（外部ユニットから供給、オプション） |
| 大きさ | 約52（H）×107（W）×53（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約360g |