インライン測定用
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KL-30B液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 試料流量
定格流量10mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)最大粒子個数濃度 200,000個/mL(計数損失10 %以内) -
KL-30AX液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.04μm 定格流量 試料流量
定格流量20mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)最大粒子個数濃度 15,000個/mL(計数損失10 %以内) -
KL-30A液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 試料流量
定格流量20mL/minとパージ流量0.1~1L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動)最大粒子個数濃度 15,000個/mL(計数損失10%以内) -
KS-17B液中パーティクルセンサ、純水用
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 100,000個/mL(計数損失5%以内) -
KS-16液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-16F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KL-28B液中パーティクルカウンタ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KL-28BF液中パーティクルカウンタ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)