KS-93
気中パーティクルセンサ
特殊ガス供給システムを0.1μmから清浄度管理
- イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能
- SUS配管（VCR）を採用
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 粒径区分 | 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上の5段階 |
| 定格流量 | 100mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 30,000個/ｍL（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100V～240V、40VA（外部電源 KZ-50（付属）を含む） |
| 大きさ | 約135（H）×280（W）×150（D）mm（突起部を除く） |
| 重さ | 約6.5kg |